低溫氧化脫硝系統(tǒng)組成部分分別是臭氧發(fā)生系統(tǒng)、等離子凈化裝置、混合反應(yīng)器、雙氧水系統(tǒng)、雙氧水系統(tǒng)、吸收系統(tǒng)、聯(lián)動(dòng)控制系統(tǒng)、吸收液制備系統(tǒng)以及廢水處理及結(jié)晶系統(tǒng)。
　　1、臭氧發(fā)生系統(tǒng)：臭氧發(fā)生系統(tǒng)由氧氣源、臭氧發(fā)生器、電氣控制系統(tǒng)、冷卻水系統(tǒng)組成。氧氣源注入臭氧發(fā)生室，在高頻高壓電場(chǎng)內(nèi)，氧氣轉(zhuǎn)換成臭氧，經(jīng)溫度、壓力監(jiān)測(cè)后、控制調(diào)節(jié)閥，注入混合反應(yīng)器，與煙氣中的NOx混合反應(yīng)，將不溶入水的NO氧化成NO2、N2O3、 N2O5等易溶于水的高價(jià)態(tài)氮氧化物。
　　2、等離子凈化裝置：當(dāng)煙氣經(jīng)過(guò)等離子煙氣凈化器時(shí)，在高壓脈沖電場(chǎng)中，通過(guò)前后沿陡峭、脈寬極窄（ns）的高壓脈沖電暈放電，在常溫下獲得非平衡高低溫等離子體，即產(chǎn)生大量高能電子（約5eV）以及極強(qiáng)氧化性能的羥基自由基等高能活性粒子。
　　3、混合反應(yīng)器：用射流噴嘴均勻注入臭氧，極短的時(shí)間內(nèi)完成混合反應(yīng)，將煙氣中的NO轉(zhuǎn)化成高價(jià)態(tài)的氮氧化物進(jìn)入吸收塔。
　　4、雙氧水系統(tǒng)：雙氧水系統(tǒng)主要由雙氧水儲(chǔ)罐、雙氧水激活罐、計(jì)量泵、噴淋系統(tǒng)等組成。 雙氧水噴淋系統(tǒng)設(shè)置在引風(fēng)機(jī)與吸收塔之間，將煙氣中殘余的NO氧化成高價(jià)態(tài)NOx進(jìn)入吸收塔。
　　5、吸收系統(tǒng)：吸收系統(tǒng)設(shè)備組成：吸收塔、循環(huán)泵、PH值檢測(cè)罐、操作平臺(tái)組成。    :
　　6、聯(lián)動(dòng)控制系統(tǒng)：能夠動(dòng)態(tài)控制臭氧注入量，能夠控制氮氧化物的排放量，避免臭氧逃逸。
　　7、吸收液制備系統(tǒng)：由吊車(chē)、振動(dòng)器、前置料斗、負(fù)壓吸風(fēng)機(jī)、粉塵過(guò)濾器、熟化罐、Mg（OH）2儲(chǔ)槽、Mg（OH）2輸送泵、Mg（OH）2漿泵等組成。MgO在熟化罐中經(jīng)過(guò)事先設(shè)定的熟化程序后得到Mg（OH）2溶液。通過(guò)Mg（OH）2溶液輸送泵打入儲(chǔ)槽備用。由自動(dòng)化系統(tǒng)控制Mg（OH）2漿泵將Mg（OH）2溶液補(bǔ)充到脫硫循環(huán)系統(tǒng)中。配置和輸送流程完成后，通過(guò)程序自動(dòng)控制對(duì)熟化罐、輸送泵、輸送管道進(jìn)行及時(shí)清洗，避免Mg（OH）2 溶液產(chǎn)生沉積或堵塞。
　　8、廢水處理及結(jié)晶系統(tǒng)：由緩沖池、壓濾系統(tǒng)、精濾系統(tǒng)、氧化塔、氧化曝氣風(fēng)機(jī)和蒸發(fā)器等組成。脫硫循環(huán)水進(jìn)入緩沖池，經(jīng)壓濾泵打入壓濾機(jī)中進(jìn)行壓濾，固態(tài)物與煤灰一起處理，清液進(jìn)緩沖罐中儲(chǔ)存，再經(jīng)過(guò)濾器離心泵打入過(guò)濾器進(jìn)行過(guò)濾，過(guò)濾后的水進(jìn)入蒸發(fā)器蒸發(fā)結(jié)晶，固態(tài)物為七水硫酸鎂晶體，蒸發(fā)水冷卻之后回流到循環(huán)系統(tǒng)中繼續(xù)使用。